氧化镓(Ga2O3)由于其宽的带隙、可控的掺杂和低成本,作为低维金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的潜在候选者,引起了广泛的关注。纳米Ga2O3的结构稳定性是设计和构建MOSFET的关键参数,但这一点尚未得到充分探索。武汉大学王建波和郑赫利用原位透射电子显微镜,揭示了亚2nm Ga2O3纳米线的尺寸依赖性相变。
本文要点
(1)基于理论计算,作者绘制了从初始单斜β相到中间立方γ相再回到β相的转变路径,并将其确定为Ga阳离子迁移序列。
(2)该研究结果为Ga2O3在纳米尺度内的相稳定性提供了基本的见解,这对于推进宽带隙半导体器件的小型化、轻量化和集成至关重要。
Jiaheng Wang, et al. Size-Dependent Phase Transition in Ultrathin Ga2O3 Nanowires. Nano Letters. 2023
DOI:10.1021/acs.nanolett.3c01751
https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.nanolett.3c01751