晶圆级二维（2D）材料的制造是其工业应用的先决条件和重要步骤。近日，中山大学高平奇、中国科学院胡伟达、Wang Zhen、南京大学Wang Xinran对晶圆级二维材料生长衬底工程的策略、机制和前景进行了综述研究。

本文要点：

1) 化学气相沉积（CVD）是生产高质量薄膜的极具扩展性的方法。而在晶圆级单晶石墨烯、六方氮化硼和过渡金属二醇化物外延生长中，衬底工程在晶格取向、表面台阶和能量方面发挥着关键作用。

2) 作者着重概括了现有的策略和潜在机制，并讨论了外延衬底工程中为集成电子和光子学合成晶圆级2D材料的未来方向。此外，通过理论和实验的协同作用，为未来将进一步创新晶圆级2D材料生长技术，实现尺寸、质量、厚度和性能的可控生长，同时促进电子和光电子的进一步快速发展。

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Tiange Zhao et.al Substrate engineering for wafer-scale two-dimensional material growth: strategies, mechanisms, and perspectives Chem. Soc. Rev. 2023

DOI: 10.1039/D2CS00657J

https://doi.org/10.1039/D2CS00657J